簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "趙崇禮".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="鑽石修整器"


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    交叉多角度單顆鑽石修整軟韌彈性墊之研究
    • 機械工程系 /106/ 碩士
    • 研究生： 李梓豪   指導教授： 陳炤彰
    • 在化學機械平坦化 (Chemical Mechanical Polishing/Planarization, CMP)的製程當中，鑽石修整製通常用來修整拋光墊表面形貌以及維持工作能力，以確保製程中的…
    • 點閱：407  下載：4 

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    單點鑽石刀具近似正交切削軟韌彈性墊之研究
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生： 李奕廷   指導教授： 陳炤彰
    • 半導體為世上重大發明且與現代生活密不可分，隨著世代的進化變遷，不斷的追求微細化及線路層層堆疊而對於晶片的考驗也越來越嚴苛，全域平坦化表面將成為相當重要得關鍵技術。化學機械拋光/平坦化(Chemica…
    • 點閱：274  下載：2 
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